在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量的要求也越来越高。线宽下对超纯氮气的要求,高纯氮气(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,工业高纯氩气,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
前市场上高纯气体产品的“纯度”含义又是什么呢? 笔者认为, 所谓高纯气体纯度是通过规定方法直接测得或扣除规定杂质计算求得的浓度值。这种规定是生产者和用户依据生产过程和使用目的共同协商的结果。评价高纯气体的质量, 除进行“纯度”指标评价外, 还需依据标准对规定杂质进行逐一核对。任何一项超出规定的要求, 都不能称之为合格品。一般高纯气体供应系统目前主要有三种形式:1. 现场制气,管道输送供气;2.外购液态气体,气化后管道输送供气;3.外购气体钢瓶,用气体钢瓶(组)供气。
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